微硅片狹縫在新型微小型光纖光譜儀中的應(yīng)用

狹縫是光譜儀的重要組成部分，狹縫的寬度直接影響光譜儀系統(tǒng)的分辨率，狹縫的高度直接影響光譜儀的探測強度。傳統(tǒng)光譜儀狹縫是采用機械方法加工的，具有體積大、加工困難、裝調(diào)復(fù)雜等缺點。若仍然采用機械加工的方法加工和裝配狹縫，會使得光譜儀的體積增大，裝配更加復(fù)雜，很難裝配出理想微小型光纖光譜儀，更難應(yīng)用于便攜式生化分析儀中。

采用微機械加工工藝加工出的硅片狹縫具有體積小、質(zhì)量輕、價格低廉、適宜批量化生產(chǎn)等優(yōu)點。系統(tǒng)的分辨率直接受狹

縫寬度的影響，利用微機械加工工藝加工的硅片狹縫孔的寬度可以在1～100／zm 內(nèi)任意選擇，完全滿足系統(tǒng)分辨率對狹縫寬度的要求。